Das Institut für Mechatronik und Sensortechnik (I-MST), hervorgegangen aus dem gleichnamigen Studiengang, widmet sich der Entwicklung, Charakterisierung und Applikation von Sensoren und Sensorsystemen. Die Bandbreite erstreckt sich von der praxisnahen Forschung wie der Entwicklung dünner Schichten für Druck- und Kraftsensoren bis hin zu Dienstleistungen wie der Partikelanalyse mit optischen Methoden oder der Qualifizierung von Lichtquellen. Das Institut wird von zwei
Professoren und ihren Laboren getragen.





Labor für Dünnschichttechnologie, Rasterelektronenmikroskopie und Sensorentwicklung  

• Dünnschichttechnik mittels plasmaphysikalischer Methoden
• DMS-Messtechnik und industrielle Wägetechnik
• Sensorik für Kraft, Gewicht, Drehmoment und Druck
• Physikalische Analytik und Messtechnik ( Rasterelektronenmikroskopie und Röntgendiffraktometrie )

Optische Mess- und Lasertechnik 

•  Laser- und Partikelmesstechnik ( Phasen-Doppler Partikel Analyse für Sprays, Fraunhofer Beugung )
• Sensoren in der Meteorologie ( Hagelsensor,  Regen- und Nebelsensoren,  Feinstaubsensoren )
• Faseroptische Sensorik

Ausstattung

• Verschiedene Dünnschichtanlagen
• PVD, PECVD, DC, RF, Plasmaquelle, Clusterquelle
• Rasterelektronenmikroskop ( REM, EDX )
• Röntgendiffraktometer ( XRD )
• Belastungsmaschinen zum Charakterisieren von Kraft-, Gewichts- und Drehmomentsensoren
• Tieftemperatur-Kryostat und Hochtemperatur-Messstände
• Phasen-Doppler Messeinrichtung, Zerstäuberstand für die Sprayanalyse
• Mastersizer von Malvern, Ultrakurzzeit-Blitzeinrichtung "Nanolite"
• Arbeitsplatz Lichtmessung (Powermeter, Photometer, Profilanalyse, Spektrometer )
• Optiksimulationssoftware ZEMAX

Aktuelle Projekte

• Sensorschichten mit höheren Dehnungsempfindlichkeiten für Kraft- und Drucksensoren, Piezoresistive Eigenschaften von Dünnschichten mit eingebetteten Metallclustern
• Entwicklung verschiedener laser-optischer Sensoren zur Messung von Feinstaub, Ölverschmutzung und Windgeschwindigkeit