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Publikationen und Patente
Publications and conference contributions

M. Mathis, D. Vollberg, G. Schultes, Einfluss von DC- und AC-Versorgungsspannungen auf Dünnschicht-Drucksensoren aus ZrO2, 20. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 26.06.2019

J. Hubertus, G. Schultes, Sputtered metallic compliant electrodes for dielectric elastomer sensor and actor application, EuroEAP 2019, Dresden 4.-6. Juni 2019

D. Vollberg, P. Gibson, D. Wachter, G. Schultes, H.-W. Groh, Reliable cylinder pressure sensors with highly strain sensitve thin films and smart electronics, 6. Tagung Innovative Messtechnik, Linz, 16.5.2019

D. Vollberg, D. Wachter, T. Kuberczyk, G. Schultes; Cylinder pressure sensors for smart combustion control, J. Sens. Sens. Syst., 8, 75–85, 2019, doi.org/10.5194/jsss-8-75-2019

2018 - 2016

S. Schwebke, S. Winter, M. Koch, G. Schultes; Piezoresistive granular metal thin films of platinum–boron nitride and platinum–alumina at higher strain levels, Journal of Applied Physics 124, 235308 (2018); doi: 10.1063/1.5054972

S. Schwebke, G. Schultes, Sputter-deposited chromium oxynitride films for strain sensing at high temperature, 16. Int. Conf. on Plasma Surface Enginieering, 17.-21.09.2018, Garmisch Partenkirchen

S. Schwebke, G. Schultes, Poster: Monte Carlo simulations of charge transport and strain sensing properties of co-sputter deposited granular metal thin films, 16. Int. Conf. on Plasma Surface Enginieering, 17.-21.09.2018, Garmisch Partenkirchen

D. Vollberg, T. Kuberczyk, G. Schultes; Robuster Zylinderdrucksensor – Konzeptionierung und Vergleich zweier Sensorvarianten; 19. ITG/GMA-Fachtagung Sensoren und Messsysteme, Nürnberg 26.-27.06.2018

D. Wachter, D. Vollberg, S. Schwebke, G. Schultes; Development of a cylinder pressure sensor using highly-sensitive chromium thin-films and direct contacting by laser welding; 19. ITG/GMA-Fachtagung Sensoren und Messsysteme, Nürnberg 26.-27.06.2018
Poster: Simplified in-cylinder pressure sensor **Best Poster Award**

G. Schultes, Piezoresistive Granular Films for Sensor-Applications, BIT´s 4th Annual World Congress for Smart Materials 2018, Osaka, Japan, March 6 - 8, 2018

G. Schultes, H. Schmid-Engel, S. Schwebke, U. Werner, Granular metal–carbon nanocomposites as piezoresistive sensor films – Part 1: Experimental results and morphology, J. Sens. Sens. Syst., 7, 1–11, 2018, doi.org/10.5194/jsss-7-1-2018

S. Schwebke, U. Werner, G. Schultes, Granular metal–carbon nanocomposites as piezoresistive sensor films – Part 2: Modeling longitudinal and transverse strain sensitivity, J. Sens. Sens. Syst., 7, 69-78, 2018, doi.org/10.5194/jsss-7-69-2018

S. Schwebke, G. Schultes, Electron transport and piezoresistivity of cosputter-deposited platinum particles in ceramics, EMRS-Spring Meeting 2017, Strassbourg, R P2.20

M. Witt, D. Vollberg, M. Langosch, G. Schultes, Pulse wave analysis using novel strain gauges, Track V. Patient Monitoring. Biomedical Engineering / Biomedizinische Technik, 61(s1), p. 244. doi:10.1515/bmt-2016-5020

S. Schwebke, G. Schultes, Piezoresistivity of cosputter-deposited nanogranular ceramic-metal thin films, NANOSMAT Conference, Aveiro, Portugal, 8. Sep. 2016

M. Witt, D. Vollberg, M. Langosch, G. Schultes: Hochempfindliche Dehnungssensoren für die Medizintechnik. 18. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016, Nürnberg, p.36-41. doi:10.5162/sensoren2016/1.1.3

S. Schwebke, G. Schultes, Korrelation erhöhter longitudinaler und transversaler Dehnungsempfindlichkeit granularer Metalle am Beispiel von Platin-Aluminiumoxid-Dünnschichten,18. GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016, doi10.5162/sensoren2016/1.1.4

G. Schultes, M. Cerino, M. Langosch, T. Kuberczyk, D. Vollberg, D. Göttel, O. Freitag-Weber, A.C. Probst, Drucksensoren aus Zirkonoxid-Keramik mit hochempfindlichen Sensorschichten, tm - Technisches Messen 2016; 83(3); 147-156

2015 - 2013

D. Vollberg, A.-C. Probst, M. Langosch, A. Landes, D. Göttel, M. Cerino, A. Lellig, O. Freitag-Weber, G. Schultes, Hochempfindliche Folien-Dehnungsmessstreifen auf dem Weg zur technologischen Reife, tm - Technisches Messen 2015; 82(10); 506-516

D. Vollberg, A.-C. Probst, M. Langosch, M. Cerino, G. Schultes, Fertigung von Dünnfilm-Folien-Dehnungsmessstreifen durch Laserstrukturierung und Siebdruck-Technik, MST-Konferenz, Karlsruhe, 2015

G. Schultes, Functional films of granular metal-carbon for sensing applications, Vortrag, Advances in Functional Materials Conference 2015, Jun. 29 – Jul. 3, Stony Brook University, NY, USA

G. Schultes, Hochempfindliche Dünnschichten für die Druck- und Kraftsensorik auf dem Weg zur technologischen Reife, Sensor Magazin 2-2015, Seite 30-32

M. Langosch, M. Cerino, A. Landes, A. Lellig, D. Vollberg, A.-C. Probst, D. Göttel, M. Cerino, O. Freitag-Weber, G. Schultes, Pattern Definition of foil based Sensors with ultrafast UV Lasers, Sensor Kongress, 19-21.5.2015, Nürnberg

M. Cerino, R. Britz, T. Kuberczyk, D. Göttel, A. Landes, M. Langosch, A.-C. Probst, D. Vollberg, G. Schultes, Ceramic based pressure sensor with highly sensitive thin film, Sensor Kongress, 19-21.5.2015, Nürnberg

G.Schultes, D. Vollberg, M. Langosch, A.-C. Probst, A. Landes, D. Göttel, M. Cerino, A. Lellig, O. Freitag-Weber, Highly sensitive foil strain gauges, 4. Tagung Innovative Messtechnik, 28.5.2015, Technisches Museum Wien, Tagungsband, Seite 6 – 11, ISBN 978-3-8440-3560-5

Produktivität Qualität Effizienz, Innovative Prozesse für die Produktion von morgen, Hrsg.: R. Müller, J. Flackus, Beitrag: Hochempfindliche Sensorfunktionsschichten für robuste Kraft- und Drucksensoren, S. 74 – 91, Shaker Verlag 2015, ISBN 978-3-8440-3509-4

Th. Pelt, A.-C. Probst, A. Landes, D. Vollberg, A. Lellig, D. Göttel, G. Schultes; Hochempfindliche nano@C-Dünnschicht-Folien-Dehnungsmessstreifen, Sensoren und Messsysteme 4.6.2014, Nürnberg, ISBN 978-3-8007-3622-5

H. Schmid-Engel, S. Uhlig, U. Werner, G. Schultes,Strain sensitive Pt–SiO2 nano-cermet thin films for high temperature pressure and force sensors, Sensors and Actuators A 206 (2014) 17–21

G. Schultes, D. Göttel, M. Cerino, Hochempfindliche Stahlmembran-Drucksensoren mit lasergerechtem Messbrückenlayout, 11. Dresdner Sensor-Symposium, 9.-11. Dez. 2013

Göttel D, Cerino M, Bock J, Schultes G, Hochempfindliche Drucksensoren mit lasergerechter Messbrückenanordnung, MST-Kongress 2013 "Von Bauelementen zu Systemen"; Aachen, 14.-16. Oktober 2013

Uhlig S, Schmid-Engel H, Schultes G, Werner U, Piezoresistive Sensorschichten auf der Basis von nano-Cermets für Hochtemperaturanwendungen, MST-Kongress 2013 "Von Bauelementen zu Systemen"; Aachen, 14.-16. Oktober 2013

Pelt T, Probst A.-C, Uhlig S, Schultes G, Bieck W, Clos H, Hoch dehnungsempfindliche Ni:a-C:H-Widerstandsschichten auf Polyimidfolie, MST-Kongress 2013 "Von Bauelementen zu Systemen"; Aachen, 14.-16. Oktober 2013

Vollberg D, Uhlig S, Göttel D, Schultes G, Sensorfasern auf Basis von Ni:a-C:H-Dünnschichten und zugehörige Messelektronik, MST-Kongress 2013 "Von Bauelementen zu Systemen"; Aachen, 14.-16. Oktober 2013

Uhlig S, Struis R, Schmid-Engel H, Bock J, Probst AC, Freitag-Weber O, Zizak I, Chernikov R, Schultes G. Piezoresistive Ni:a-C:H thin films containing hcp-Ni or Ni3C investigated by XRD, EXAFS, and wavelet analysis, Diamond and Related Materials. 2013, 34, 25–35, link

Uhlig S, Schmid-Engel H, Speicher T, Schultes G. Pressure sensitivity of piezoresistive nickel-carbon Ni:a-C:H thin films, Sensors and Actuators A: Physical. 2013, 193, 129–135, link

2012 - 2008

Koppert R, Uhlig S, Schmid-Engel H, Göttel D, Probst AC, Schultes G, Werner U. Structural and physical properties of highly piezoresistive nickel containing hydrogenated carbon thin films, Diamond and Related Materials. 2012, 25, 50–58, link

Uhlig S, Rau S, Schultes G. Piezoresistivity of polycrystalline silicon applying the AIC process-route, Sensors and Actuators A: Physical. 2011, 172(2), 447–454, link

Schmid-Engel H, Göttel D, Schultes G, Koppert R, Werner U. P6. 3-Novel Carbon-Based Materials for Pressure and Force Sensors, Proceedings SENSOR 2011, 800–805, link

Schultes G, Schmid-Engel H, Probst AC, Uhlig S, Göttel D, Bock J, Bambauer J, Speicher T, Lambert M, Koppert R, Nickel-Kohlenstoffschichten für Druck-und Kraftsensoren, MikroSystemTechnik. 2011, link

Uhlig S, Rau S, Schultes G. Piezowiderstände aus polykristallinem Silizium durch Aluminiuminduzierte Kristallisation, MikroSystemTechnik. 2011, link

Koppert R, Göttel D, Schultes G, Werner U. NanoNi@ C: Hochempfindliche Funktionsschicht für Druck-und Kraftsensoren. tm-Technisches Messen, 2010, 77(12), 631–637, link

H. Schmid-Engel, G. Schultes, K. Zohar S. Berger, Poster, 2nd Nano Israel Conference in Tel Aviv / Israel, 2010.

Koppert R, Goettel D, Freitag-Weber O, Schultes G. Nickel containing diamond like carbon thin films, Solid State Sciences. 2009, 11(10), 1797–1800, link

Schultes G, Koppert R, Goettel D, Freitag-Weber O, Probst AC, Werner U. New perspectives for pressure and force sensors thin films combining high gauge factor and low TCR, Proceedings of SPIE. 2009, 7362, 73620W, link

Koppert R, Göttel D, Probst AC, Freitag-Weber O, Schultes G, Werner U. Nickelhaltige Kohlenwasserstoff-Nanokomposite als Sensorschichten für die Kraft-und Drucksensorik, MikroSystemTechnik. 2009, link

Pospiech P, Gessner TD, Kuberczyk T, Schultes G, Nothdurft FP. Development of a new bite force measurement device, IADR 86th General Session & Exhibition Toronto, Dental Materials 9: Instruments and Equipment. 2008, link

2007 - 2005

Schultes G, Schmidt M, Truar M, Goettel D, Freitag-Weber O, Werner U. Co-deposition of silver nanoclusters and sputtered alumina for sensor devices, Thin Solid Films. 2007, 515(20), 7790–7797, link

Schultes G, Metal containing diamond like carbon thin films for sensor devices, IMEC 13, Israel Material Engineering Conference, Haifa, 2007, link

Schultes G, Kuberczyk T, Schutzkonzept fuer Lastmessbolzen, Wägen, Dosieren, Mischen, 2007, 2,16.

Stoian A, Kuberczyk T, Schultes G. A new type of force sensor, CD Proc IMEKO Int’l Conf Cultivating Metrological Knowledge, Merida, Mexico, November 2007, 27–30, link

Schultes G, Schmitt M, Goettel D, Freitag-Weber O. Strain sensitivity of TiB2, TiSi2, TaSi2 and WSi2 thin films as possible candidates for high temperature strain gauges, Sensors and Actuators A: Physical. 2006, 126(2), 287–291, link

Schultes G, Frey P, Goettel D, Freitag-Weber O. Strain sensitivity of nickel-containing amorphous hydrogenated carbon (Ni:a-C:H) thin films prepared by rf sputtering using substrate bias conditions, Diamond and related materials. 2006, 15(1), 80–89, link

bis 1996

Schultes G. Dünnschichttechnologie für Wägezellen, Wägen+Dosieren, 1996, 3, 3–10.

G.Schultes, A.Hausmann, F.J.Schamberg R. Roll, R.Materna. EPR and ENDOR investigations of Ge, Sn and Pb impurities in CdSe, Z.PhysB-Condensed Matter, 1988, 70, 499–506, link

G.Schultes, A.Hausmann, F.J.Schamberg, R.Roll (Aachen), J.R.Niklas, J.M.Späth (Paderborn). EPR and ENDOR investigations of Sn impurities in CdS, Z.PhysB-Condensed Matter, 1988, 70, 491–197.

 

Patents and patent applications

M. Langosch, D. Vollberg, Dehnungsmessstreifen umfassend ein flexibles Substrat sowie eine Widerstandsschicht und Sensorelement umfassend einen Dehnungsmessstreifen, PCT WO 2019 129701 A1

D. Göttel, M. Cerino, A.C. Probst, G. Schultes, Schichtwiderstand mit einem kohlenstoffhaltigem Widerstandsmaterial und Verfahren zu dessen Herstellung, DE 10 2015 006 057.0

G. Schultes, H. Schmid-Engel, S. Uhlig, D. Göttel, Temperaturbeständige piezoresistive Widerstandsschicht und Verfahren zu deren Herstellung, DE 10 2013 007 644

D. Göttel, M. Cerino, G. Schultes, Sensorelement mit in vier Segmente unterteilter Sensorschicht und Verfahren zu dessen Herstellung, DE 10 2013 011 157.9

W. Brode, G. Schultes, R. Koppert, Vorrichtung zum Wandeln einer Kraft und/oder eines Drucks in ein elektrisches Signal, insbesondere Hochdrucksensor, 2010, DE 10 2010 048 904

G. Schultes, D. Göttel, J. Bock, Hochempfindliche Sensorfaser, DE 10 2011 015 081 B4

G. Schultes, R.Koppert, D. Göttel, O. Freitag-Weber, W. Brode, Schichtwiderstand mit konstantem Temperaturkoeffizienten sowie Herstellung eines solchen Schichtwiderstandes, PCT/EP 2 277 177 B1 sowie US-Patent US8198978

G. Schultes, A.C. Probst, S. Uhlig, J. Bambauer, Verfahren zur Herstellung eines Dünnschichtsensorelementes DE 2011 119 349.2 (2011)

T.D. Gessner, T. Kuberczyk, P. Pospiech, M. Propson, G. Schultes, T. Speicher, Vorrichtung zur Ermittlung patientenspezifischer Kaukräfte, Patent DE 10 2010 036 118 (2010)

G. Schultes, Dehnungsempfindliche Sensorschicht durch eingebettete elektrisch leitfähige Atomcluster, Deutsche Patentanmeldung 10 2004 013 305.0 (2004)

G. Schultes, M. Schmitt, M. Münnich, Kraftmessvorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung, European Patent application PCT/EP 2004/012494 (2003)

S.Birkmann, G.Schultes, J.Herrnring, Hochtemperaturwägezelle mit DMS und integrierter Abgleichschaltung in Dünnfilmtechnik, European Patent EP 95 201 289.6, (1994)

G.Schultes, T.Kortekamp, S.Birkmann, Integrierter Überlastschutz für Miniatur Wägezellen, German Patent DE 4232568, (1992)

G.Schultes, J.Stolte, A.Eyers, M.Krause, DMS-Kontakt mit flexibler Leiterplatte, European Patent EP 0 453 023 B1

 


Prof. Dr. Günter Schultes

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Professur für Mechatronik und Sensortechnik
Raum htw saar 9105 und ZeMA
t +49 (0)681 58 67 - 287
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Dr. rer. nat. Olivia Freitag-Weber

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wiss. Mitarbeiterin und Lehrkraft für besondere Aufgaben
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f +49 (0)681 58 67 - 414